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幾何学的処理による高速3次元構造生成事例#

半導体デバイス3次元TCADシステム Advance/TCAD 事例

幾何学的処理による高速3次元構造生成事例

  1. さまざまなデポジション・エッチング工程を幾何学的処理により再現し、3次元形状を高速に生成します。
  2. 複雑な形状表現にも適した非構造四面体メッシュを使用しています。
  3. 任意形状のマスクパターンが作成可能です。
  4. 大規模メッシュも高速で処理できます。

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